مشخصات پمپ وکیوم، عواملی هستند که در عملکرد پمپ تاثیر مستقیمی دارند که عبارتند از:
قدرت مکش: در یک پمپ وکیوم ، دریچه پالاینده یا مدخلی وجود دارد که هوایی که از بیرون مکیده می شود از طریق آن به محفظه پمپ وارد می شود و یک دریچه خروجی نیز برای دمیدن هوای فشرده شده به محیط بیرون در در آن تعبیه شده است. فشار دمندگی، فشاری است که پس از اتمام فرآیند وکیوم، در پمپ تولید شده است که می تواند بسته به مشخصات پمپ وکیوم، فشار اتمسفر یا کمتر از آن باشد.
هرچقدر که خلا مورد نظر در بخش ورودی، بیشتر باشد، فشار هوای دهانه خروجی کمتر خواهد بود. در طی فرآیند وکیوم بالا، ابتدا یک پمپ پشتیبان، فشار را در حد اتمسفر پایین می آورد سپس پمپ اصلی فشار را به حد مطلوب می رساند. در این حالت، پمپ اصلی و پمپ پشتیبان به صورت سری قرار می گیرند به طوری که هوای خروجی از پمپ پشتیبان در دهانه ورودی پمپ اصلی دمیده می شود.
میزان خلا در دسترس: منظور از این پارامتر در مشخصات پمپ وکیوم ، پایین ترین حد فشار ممکن در مخزنی است که وکیوم در آن انجام میشود. این موضوع بستگی زیادی به فشار مکندگی دارد که اگر خیلی کم باشد موجب می شود برخی ذرات گاز در دهانه خروجی در جهت برعکس حرکت کنند.
سرعت پمپ: این پارامتر به صورت نرخ نسبی کاهش فشار در یک حجم معین تعریف می شود. بنابراین سرعت خروجی پمپ به عنوان سرعت تغییر حجم گاز مخزن، در هر لحظه در نظر گرفته می شود. از آنجا که در لحظه شروع به کار پمپ، تغییر حجم گاز مخزن بسیار کم است، سرعت پمپ برابر سرعت ذاتی آن است. رفته رفته با نزدیک شدن به فشار مورد نظر، سرعت پمپاژ کاهش می یابد به طوری که در حداقل فشار قابل دستیابی، عملا سرعت پمپاژ پمپ صفر می شود. علاوه بر این، عاملِ مقاومت در برابر جریان نیز در سرعت پمپاژ بستگی دارد. در نتیجه منافذ لوله و اتصالات عامل مهمی مشخصات پمپ وکیوم هستند.